奈米科技發展至今，除需縱向之精進發展外，亦需橫向跨領域之整合，例如奈米加工技術、奈米材料之理論研究與應用、奈米生醫材料工程之應用研究、奈米致動器與感測器之設計開發與應用、奈米級定位與控制技術、奈米製造流程之自動化與最佳化、奈 - 微機電系統之研發與應用、新能源及再生能源之開發與應用、先進奈米光電技術之研發與應用等，皆需跨領域之科技整合始能成功。

　　本研究所於民國 95 年 8 月 1 日設立後，即朝向此科技整合之發展趨勢，結合本校工學院所屬之機械、電機、電子、化工、生技和奈米研究中心等相關領域之師資，使本校成為奈米科技之學術研發和人才培育之重鎮。

　　本研究所將充分結合本校之發展特色，依分組縱向發展和橫向整合來相互支援，利用現有的奈米材料製備、奈米加工與檢測、光電量測、奈米生技、微奈米熱流與新能源技術等跨領域科技之師資和設備，來發展各種奈米材料製備與特性分析、奈米光電技術、微奈米元件加工、量測與系統測試、奈米生醫技術、及新能源技術等。並利用地緣關係，積極進行產學合作、研究與教育，以培育具有理論基礎與實務經驗之奈米科技之研發人才。